型號:Tokyo Instruments, INC.
規格:
功能:奈米尺度拉曼、螢光光譜分析,固態表面性質掃圖,生物系統樣品量測
型號:BRUKER Dimension Icon
解析度:X-Y<1.0nm,Z<0.1nm。
功能:Contact mode, Tapping mode, Non-contact mode, Force curve, Magnetic Force mode, Lateral Force mode, Conductive AFM mode, Scanning Probe Lithography, Scanning Capacitance Microscopy等功能。
Scan range:90 μm x 90 μm x 6 μm。
主要附件:Close Loop。
型號:Park NX-10
解析度:X-Y<1.0nm,Z<0.1nm。
功能:Contact mode, Tapping mode, Non-contact mode, Force curve, Magnetic Force mode, Lateral Force mode, Conductive AFM mode, Lithography, Scanning Capacitance Microscopy等功能。
主要附件:Close Loop。
型號:ZEISS ULTRA PLUS
加速電壓:最小加速電壓0.02kV, 最大加速電壓30kV, 電壓可調整之最小刻度10 Volt
解析度:1.0 nm at 15kV at WD= 2mm。1.7 nm at 1kV at WD= 2mm。3.5 nm at 0.2kV at WD= 2mm。4.0 nm at 0.1kV at WD =2mm
電子束流:4pA ~ 20pA
倍率:12X-1,000,000X (SE mode) 與 100X-1,000,000 (BSE mode)
物鏡:為電磁與靜電透鏡組,以降低磁場對磁性材料之影響
工作距離:1mm ~ 50mm
訊號偵測器:
主要附件:EDS能譜分析儀(OXFORD X-Max 50 mm2)
型號:日本JEOL JEM-2010
規格:
功能:明視野,暗視野,選區繞射,NBD,收斂束電子繞射(CBD)等模式
試片傾斜角度:±35度
主要附件:掃描影像觀察原件(Scanning Image Observation Device),能量分散光譜儀(EDS)
型號:Gatan Model 691
離子束能量:2 KeV to 6 KeV。
打薄角度: 10° to -10°。
離子束直徑:350 μm FWHM at 5 KeV to 800 μm for Broad Beam。
離子電流密度:10 mA/cm2 Peak。
試片尺寸:直徑3 mm。
試片旋轉:1 to 6 rpm。
Single or double sector for exceptional cross-sectioning。
Dry Pumping System Molecular drag pump backed by a 2-Stage diaphragm pump, 5E-6 Torr 背壓,8E-5 Torr 操作。
儀器性能:利穿透式電子顯微鏡觀察用,除了高分子材料及高揮發性或低耐熱性材料外,其餘固態材料均適用。
型號:日本 JEOL JSPM-4500A
規格:
型號:Leica SP5
服務項目:
主要附件:
型號:FV-1000/Olympus
離子束能量:2 KeV to 6 KeV。
打薄角度: 10° to -10°。
離子束直徑:350 μm FWHM at 5 KeV to 800 μm for Broad Beam。
離子電流密度:10 mA/cm2 Peak。
試片尺寸:直徑3 mm。
試片旋轉:1 to 6 rpm。
Single or double sector for exceptional cross-sectioning。
Dry Pumping System Molecular drag pump backed by a 2-Stage diaphragm pump, 5E-6 Torr 背壓,8E-5 Torr 操作。
儀器性能:利穿透式電子顯微鏡觀察用,除了高分子材料及高揮發性或低耐熱性材料外,其餘固態材料均適用。