精密截面離子拋光系統

型號：Ilion 697

一、儀器規格

儀器名稱：精密截面離子拋光系統
英文名稱：Ilion Precision Cross-section System
廠牌型號：Ilion 697
離子槍: Two Penning Ion Guns
Milling 角度: 雙離子槍獨立變換10度至-10度
離子束能量:100V至 8KV
電流密度: 10mA/cm² (峰值)
Milling 速率:300微米/小時 (矽晶元，8KV)
離子束半徑:離子噴流調控
樣品大小: 10mmX10mmX4mm
載台轉速: 0.5~5rpm
離子束切換: 單、雙切換、無切換
光學顯微鏡:
真空:5X10^-6 、8X10^-5(運作時)
其他: 液氮冷卻

二、樣品準備
將樣品修整至大小約在 10mm(長)x8mm(寬)x4mm(厚)之內(以能放入holder 內為準)。
平面樣品、截面樣品依規範處理方式處理

三、預約方式
至辦公室登記桌登記。

四、收費方式
收費方式如下表：

	Planar mode	Cross section mode (檔板耗材)	Dual beam modulation mode
校內學術單位(委託操作)	600元/小時 (未含機械研磨拋光)	1000元/小時	600元/小時
校外學術單位 (委託操作)	800元/小時 (未含機械研磨拋光)	1000元/小時	500元/小時
業界單位	2500元/小時 (含機械研磨拋光)	2500元/小時	2500元/小時
自行操作	400元/小時	500元/小時	400元/小時

五、使用規則

操作機台請填寫使用紀錄簿，詳盡使用時間、試片種類、單位、委託人員及操作者，未填寫使用紀錄簿者經發現後，取消其使用權。
儀器如遇臨時維修，本中心有權利將委（自）測者時間取消，直到儀器可正常操作。
經授權之人(儀器管理員、具執照之操作員)方得操作儀器，嚴禁無執照者自行操作，經發現即取消該實驗室預約/使用權。
自行操作者請善盡管理義務，切勿讓無執照者自行操作機台，或未經管理員同意將時段借給其他實驗室使用，如導致機台損壞，操作者需負連帶責任。
操作時機台如有異狀，請立即通知管理員，勿擅自做維修動作。
未經管理員同意，請勿將實驗室各項物品及耗材私自攜出實驗室或任意取用。
實驗完畢請將檯面及Holder清理乾淨，離開前請再次確認儀器狀態，保持腔體真空，載台維持在上側，個人物品請記得帶走，本實驗室恕不負保管責任。
實驗室禁止攜帶飲料、食物入內。

使用規則如有未詳盡事宜將隨時修正並公告。

樣品準備 :

執照管理辦法

一、操作資格：
校內單位人員(含教授)，皆可於受訓時期報名參加，受訓完成經由技術人員認可後方可自行操作

二、訓練辦法：

本中心儀器常規訓練課程安排於寒假與暑假期間舉辦，每梯次限定5人參與訓練。訓練前1個月即公告於本校及中心之網頁，有意接受訓練之學員可至中心報名及繳費。
非常規課程可向中心提出申請，由中心安排訓練課程

三、資格取消：

具使用資格者可以講解儀器操作流程，但不得給予非使用資格人員操作機台，一旦發現違規或因人為操作不當致使儀器故障，除賠償責任外，具使用資格者取消資格，同時實驗室人員不得參與近期舉辦的訓練課程。
儀器使用記錄需詳細填寫，超過三次未確實填寫者將遭資格取消。
操作過程中遇問題，請盡速聯絡儀器管理操作員，並詳填記錄狀況。發生狀況未通報者，須負連帶責任。若因人為操作不當致使儀器故障，視情況嚴重性取消資格，並負賠償責任

四、儀器保養：
使用者有義務協助儀器之保養維護工作，飲料及食物嚴禁攜樣品製備室，以保持實驗室整潔。

五、管理辦法與修正：
   本管理辦法就使用狀況需要而進行修正。

儀器管理員資訊

諮詢教授：宋振銘教授    電話：04-22840500#406
儀器管理員：陳建宇       電話：04-22840502#192
儀器管理員：      同學電話：04-22840500#405